icp光谱仪操作可由软件控制；客户设置好软件并放样后，软件会自行测试，为客户节省大量分析时间。重复性小于1.0%，长期稳定性小于1.5%，大多数元素的检出限小于2ppb。70多种可测元素；分析速度快，一分钟可测量5-8个元素；多元素同时分析允许客户自由选择元素数量和安排测量顺序；检测限低，线性动态范围宽，高达6个数量级，高低含量可同时测量；分析成本低，气瓶（10MPa）可使用8小时。具有全自动点火开关功能和多重保护措施，操作更简单，更安全。
在ICP光谱分析中，icp光谱仪难免会出现各种仪器故障。故障的发生会给测试工作带来很多不利因素。如果操作者掌握了一些简单的仪器故障排除方法，将会给日常的测试工作带来很大的方便。在复杂的仪表故障情况下，如果操作人员能准确、全面地描述故障现象，也将对维修人员有很大帮助，使厂家维修人员无需现场条件也能正确判断仪表故障。有些故障可以通过电话指导来帮助操作人员排除；即使是比较复杂的问题，厂家的维修人员也能在现场做好充分的准备，使故障问题尽快得到解决。
目前，每个厂家的每个型号的icp光谱仪计算机系统都有自己的诊断程序。借助诊断程序，将正确的检查方法提供给操作人员，方便操作人员查找仪器故障。因此，当仪器出现故障时，操作人员首先要确认仪器的计算机系统是否正常工作，并根据计算机系统的提示查找故障位置。此外，操作人员还可以通过听、看、摸来判断仪器故障。ICP光谱仪的故障与其操作环境、仪器性能、操作人员的专业能力和日常维护水平密切相关。其故障可分为性能故障和服务故障。性能故障是由于仪器本身的设计或安装或某些部件不符合要求造成的；仪器使用故障时的运行环境不符合仪器要求，或操作者未按规定要求使用和维护仪器造成的。同一故障可能是性能故障，也可能是使用故障，应根据仪表故障现象一一鉴别。
