ICP原子发射光谱仪是根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的方法。主要用于微量元素的分析，不仅可以对超微量元素进行检测，还可以对常量元素进行检测，成为分析仪器领域越来越强有力的研究工具。
都说ICP原子发射光谱仪好，具体好在哪些方面，让我们一探究竟
1、分析速度快：试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。
2、样品消耗少：ICP光谱仪分析法可以对不同状态的样品直接进行分析。对于液体样品分析的优越性是明显的，对于固体样品的分析，所需样品前处理少，只需将样品加以溶解制成一定浓度的溶液即可。通过溶解制成溶液再行分析，不仅可以消除样品结构干扰和非均匀性，同时也有利于标准样品的制备。
3、选择性好：可以应用于一些化学性质相似的元素的分析，分辨出不同的元素。
4、检出限低。一般可达0.1～1ug·g－1，绝对值可达10－8～10－9g。用电感耦合等离子体（icp）新光源，检出限可低至数量级。
5、线性分析范围宽：分析物在温度较低的中间通道内电离和激发，由于外围温度高，这就消除了一般发射光谱法的自吸现象。在一定高浓度(一般元素数百μg/mL溶液浓度)范围内，其工作曲线仍能保持直线；而低含量(0.0Xμg/mL以下)由于检出限低，又可使工作曲线向下延长。因此，工作曲线的直线范围可达5～6个数量级，待测元素的质量浓度在1000μg/L以下一般都能呈良好的线性关系。对于ICP直读光谱法，主量、低量和痕量元素可同时进行分析。
6、多元素同时检出能力：它可以同时检测同一样品的多种元素，具备多元素同时检出能力。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。不论是多道直读还是单道扫描仪器，均可以在同一试样溶液中同时测定大量元素(30--50个，甚至更多)。
