知道什么是电感耦合等离子体吗？

　　电感耦合等离子体（ICP）是一种通过时变磁场电磁感应产生电流作为能源的等离子体源。主要包括等离子炬管、高频发生器（产生高频电流）、感应线圈、供气系统和雾化系统。火炬管由三层同心石英玻璃管组成。切向引入外管的氩气是等离子工作气体或冷却气体，引入中管的氩气是辅助气体。内管中的氩气是载气，样品气溶胶被引入炬管。

　　

　　电感耦合等离子体有四种主要用途：

　　

　　1、等离子体光谱诊断：通过分析ICPSource的光谱分析等离子体的原子成分。参见电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）；

　　

　　2、电感耦合等离子体质谱：作为质谱的离子源，进行成分分析（ICP-MS）；

　　

　　3、反应离子刻蚀：ICPSource产生低温等离子体，对材料表面进行刻蚀，改变材料的物理化学性质（ICP-RIE）；

　　

　　4、气相沉积薄膜技术（RFICP）。

　　

　　电感耦合等离子体原子发射光谱法是利用激发的气态原子或离子发射的特征光谱，确定被测物质中元素组成和含量的方法。

　　

　　原子发射光谱法一般步骤：

　　

　　1、待测物质在激发光源中蒸发、解离、电离并被激发产生光辐射；

　　

　　2、产生的复合光通量色散太轻，无法形成光谱；

　　

　　3、检测光谱线的波长和强度进行分析。